線切割機用于減速器關(guān)鍵零組件的切割加工,具備長期穩(wěn)定的高精度加工性能,可使減速器的關(guān)鍵零組件在淬火后的半精加工后余量控制在微米級,大幅提高了末段工藝設(shè)備的產(chǎn)能,進而有助于降低減速器在量產(chǎn)過程中對部分國外進口機床的被動依賴。 是通過纏繞在主軸上的金剛線高速往復運動,將半導體等硬脆材料同時切割為數(shù)百片薄片的切割加工方法。已逐漸取代了內(nèi)圓切割,成為半導體磁材、硅片、寶石等切割加工的主要方式,有高精度、高速度、低損耗等優(yōu)點。
控制系統(tǒng)中張力控制、收放線電機和主電機的同步運行是控制的關(guān)鍵技術(shù)。一般多線切割機都配備有主軸電機、收線電機、收線排線電機、收線張力電機、放線電機、放線排線電機、放線張力電機、工作臺升降電機等,早期的控制系統(tǒng)一般都是采用臺達的DVP10MC11T,它是基于現(xiàn)場總線的多軸控制器,它遵循基本通訊協(xié)議和DSP402運動控制協(xié)議,支持大部分運動控制標準指令庫。
特點:
?。?)hct-b6多線切割設(shè)備集成了化學、物理、機械、電氣等方面技術(shù)。
(2)擁有高精度4軸排線導輪驅(qū)動裝置技術(shù)。增大了切割能力。
(3)切割進給伺服系統(tǒng)。配合線絲張力自動控制系統(tǒng)的作用,保證在不斷絲條件下實現(xiàn)切割的高效性。
(4)使用漿料回收系統(tǒng),漿料可直接從漿料缸取出回收利用。節(jié)省了大部分的漿料成本。
(5)片厚平均厚度誤差小,適合大規(guī)模制造。
在切割時,主軸電機先正轉(zhuǎn)一段距離(設(shè)為A米),然后再反轉(zhuǎn)一段距離(設(shè)為B米),根據(jù)實際情況,0.5M<A-B<1.5M,保證在多次往復運動中,將新的切割線逐漸放出,已使用的切割線逐漸收回。在主軸運行的同時,收放線電機要保持與主軸電機的線速度同步。由于在運行中,收放線輪的直徑會一直變化,如果不調(diào)整收放線電機的旋轉(zhuǎn)速度,主軸上的線速度和收放線輪上的線速度偏差會越來越大,將會拉斷切割線,此時,需要要根據(jù)張力輪的位置,去實時調(diào)整收放線電機的旋轉(zhuǎn)速度,這是整個控制系統(tǒng)中最為關(guān)鍵的地方。
線切割機晶片的彎曲度(bow)小,翹曲度(Warp)小,平行度(Tarp)好。總厚度公差?。═TV)小,片間切割損耗少,加工晶片表面損傷層淺,粗糙度小,切片加工出片率高,生產(chǎn)效率高,投資回報呂高。
因此,應(yīng)用線切割機是發(fā)展規(guī)?;a(chǎn)和提高生產(chǎn)效率的必然選擇,使用多線切割機加工各類晶片是必然趨勢,特別適用于太陽能光伏電池超薄機基片的批量加工。